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Die ersten Lithografie-Systeme aus Russland eignen sich für 350-Nanometer-Chips. Das entspricht Technik aus den 1990er-Jahren.
Source: https://www.heise.de/news/Chipherstellung-Russland-baut-erste-eigene-Lithografie-Systeme-10334504.html?wt_mc=rss.red.ho.ho.rdf.beitrag.beitrag
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